TSK APM 90A 探针台 - 二手及翻新销售，规格参数 - 半导体设备及配件,CP和PCM测试配件

1. TSK APM90A 探测器简介

在半导体晶圆测试中，探测器起着至关重要的作用，它能够以极高的精度定位晶圆，以便在切割前进行电气测试。由ACCRETECH（东京精密）制造的TSK APM90A探针台以其可靠性、准确性和成本效益而享有盛誉。

尽管APM90A并非市场上最新的平台，但它仍然广泛应用于CP（芯片探测）和PCM（过程控制监控）工艺，尤其是在代工厂、封装和测试工厂以及工程实验室。许多半导体公司青睐APM90A，因为它在性能和总拥有成本（TCO）之间实现了完美的平衡。

2. 核心功能和技术亮点

TSK APM90A旨在为各种晶圆尺寸和测试要求提供稳定、可重复的晶圆探测。它的成功在于其坚固的机械结构、可靠的电子设备和灵活的软件的结合。

主要特点包括：

高精度卡盘台 – 确保最小的平面度误差，从而实现探针的一致接触。
先进的光学对准 – 支持模式识别，可快速对准芯片。
Z轴控制 – 保持精确的过载设置，确保探针的一致穿透。
高吞吐量效率 – 优化的台面运动和快速的对准周期。

APM90A 的设计支持多种测试模式，使其能够适应不同的产品线，而无需过多的转换时间。

3. TSK APM90A 探针台详细规格

参数	规格
晶圆尺寸兼容性	6 英寸和 8 英寸晶圆
卡盘类型	真空卡盘（可选热卡盘）
卡盘温度范围	室温至 +120°C（可选：-40°C 至 +150°C）
对准精度	±2.0 µm （典型值）
接触重复性	±1.0 µm
Z 轴分辨率	0.1 µm
平台移动范围	X、Y、Z 轴，带精细 Theta 调节
模式识别	集成视觉系统，带自动对准功能
支持的测试模式	CP 测试、PCM 测试、工程分析
系统占用空间	~1,400 mm × 1,200 mm × 1,600毫米
电源要求	交流电 200–240 V，50/60 Hz

此规格参数反映了典型的工厂配置。定制配置可能因安装的选项和客户升级而异。

4. 选择二手或翻新 APM90A 的优势

对于许多半导体企业而言，购买翻新的 TSK APM90A 是一项明智的投资。决策通常取决于性能、预算和支持可用性。

主要优势：

成本效益 – 通常比新一代探针台便宜 50-70%。
成熟的供应链 – 备件和耗材随时可用。
久经考验的可靠性 – 数十年的现场使用经验，在全天候 (24/7) 运行方面拥有良好的业绩记录操作。
兼容性 – 可与业内大多数主流测试仪无缝协作。

配合专业的翻新和升级，APM90A 的性能可接近较新的 UF200A 平台，这对于大批量生产和研发而言极具价值。

5. 升级和现代化选项

技术在不断发展，晶圆探测的性能预期也在不断提升。幸运的是，TSK APM90A 非常适合现代化升级，使晶圆厂无需完全更换即可延长其生命周期。

典型的升级路径包括：

控制系统增强 – 更新控制器以实现更快的处理速度和更好的运动控制。
视觉系统升级 – 安装更高分辨率的摄像头并改进照明系统，以实现更快、更准确的对准。
性能调整 – 卡盘平面度调整、平台润滑和 Z 轴校准，以提高接触重复性。
自动化集成 – 添加 SECS/GEM 连接，以便与 MES 和自动化处理程序集成。

这些升级不仅提高了吞吐量，同时还提高了数据准确性，帮助制造商满足更严格的工艺公差。

6. 翻新和质量保证流程

经过适当翻新的 TSK APM90A 不仅仅是一台经过清洁的二手机器——它能够恢复到符合或超过原始规格的状态。在 JUNR，翻新遵循结构化的多阶段流程：

翻新步骤：

进货检验 – 评估机械、电气、光学和安全系统。
组件更换 – 使用 OEM 级组件更换磨损或损坏的部件（例如皮带、轴承和传感器）。
校准 – 调整卡盘平面度、平台精度和对准系统至工厂公差。
软件和固件更新 – 确保与现代测试仪和数据格式兼容。
工厂验收测试 (FAT) – 进行完整的晶圆运行，以验证稳定性、准确性和吞吐量。

每台翻新的 APM90A 都附带性能报告、校准证书和建议的预防性维护计划。

7.预防性维护和常见故障排除

即使是像 APM90A 这样精心打造的探针台，也需要定期保养，以保持精度并最大限度地减少停机时间。

推荐的预防性维护计划：

每日：清洁卡盘表面，检查真空性能，检查探针卡安装位置。
每周：检查工作台运动，清洁光学镜片，验证模式识别精度。
每季度：润滑机械部件，检查皮带和线路，重新校准 Z 轴。
每年：大修工作台组件，更换高磨损部件，验证系统接地和 ESD保护。

常见故障排除示例：

未对准问题 → 检查视觉系统清洁度并重新校准。
接触重复性差 → 检查卡盘平面度和探针磨损情况。
真空损失 → 检查真空管路和密封件是否泄漏。

8. 备件和耗材支持

备件供应充足是许多晶圆厂仍在使用 APM90A 的主要原因之一。 JUNR 拥有随时可发货的库存，以最大程度地减少停机时间。

高需求备件：

卡盘真空组件
载物台驱动皮带和电机
光学系统摄像头和照明模块
控制板和 I/O 模块

常用耗材：

用于特定器件布局的探针卡
晶圆标记油墨和打点器
卡盘和探针

通过直接从可靠的供应商采购并维持库存，JUNR 确保客户快速获得零件——这是保持高产量生产线运转的关键因素。

9.二手 TSK APM90A 购买指南

选择二手探针台应根据技术需求和供应商信誉进行慎重考虑。

购买前检查清单：

验证机械状况（平台平滑度、卡盘平面度）。
检查光学对准系统的清晰度和校准能力。
确认软件版本和测试仪兼容性。
要求使用完整晶圆进行试运行演示，以评估产量和良率影响。

供应商注意事项：

卖方是否提供保修和安装服务？
备件和升级服务是否随时可用？
是否有售后技术支持？

选择像 JUNR 这样的合作伙伴，不仅能确保设备供应，还能确保培训、安装和生命周期支持。

10.为何选择与 JUNR 合作开发 APM90A 解决方案

JUNR Technology 在 ACCRETECH 和 EG 探针台系统方面拥有超过 15 年的专业经验，为客户提供的不仅仅是机器——我们提供的是完整的解决方案。

我们的能力：

整机销售 – 全新和翻新的 TSK APM90A 系统。
性能升级 – 使 APM90A 的性能接近 UF200A 级别。
快速零件供应 – 大量库存，可应对紧急维修。
现场服务 – 安装、校准和操作员培训。
长期支持 – 预防性维护计划和技术咨询。

JUNR 将工程专业知识与以客户为中心的服务相结合，确保您的 APM90A 在未来数年内提供可靠的性能。