君睿科技提供半导体设备用硅橡胶、氟橡胶、丁腈橡胶、全氟橡胶密封圈O-RING
君睿科技为客户提供AMC机台、LAM 机台、TEL机台使用的ORING ,其中重点提供endure 5500 /centura5200/ DPS/p5000/LAM9600/LAM9400/TE8500设备上使用的全系列ORING ,所有ORING 均一根起订，材质有SILICOM/VITON/全氟（FFKM）等,性价比高，欢迎咨询！
半导体设备中，密封件也很关键。选用君睿科技具有高性能、高可靠性,高性价比密封圈，提供半导体密封解决方案，满足其苛刻的耐老化、耐高温和高洁净度低释出型和低压缩变形的应用环境要求:
1. 满足极其苛刻化学溶剂耐受性 ；
2. 优异的等离子耐受 ；
3. 高纯净度要求；
4. 极低的气体渗透率和极低的离子杂志和TOC 有机碳量 ；极低的压缩变形率 ；
5. 良好的机械性能，承受较高的密封载荷 ； 具体来说，比如在P5000 设备中，密封圈必须能承受高能 高温环境，如密封不足会导致腔体污染。君睿科技提供超纯密封，可确保设备长期可靠运行，极小的颗粒和极低释气。
一、FFKM O-ring 全氟橡胶密封圈：
FFKM O-ring 重要特性 ：
Ø 耐腐蚀性 – 能耐所有化学品
Ø 耐热性能 – 长期能耐最高350摄氏度
产品优势： 我司提供的高性能FFKM密封圈产品能显著延长半导体设备平均维修时间, 减少不定期停产及维修费用，完全可以替代进口品牌，如CHEMRAZ、ISOLAST、PERLAST、SIRLAST、parofluor等 ；
二、NBR O-ring 丁腈橡胶密封圈：
NBR O-ring 重要特性
Ø 良好耐（高压）油、耐水、耐溶剂特性
Ø 良好压变、耐磨和抗拉性能
Ø 适用低浓度酸、碱和盐水
Ø 适用温度范围：-25摄氏度-100摄氏度
三、Viton O-ring 氟橡胶密封圈：
Viton O-ring 重要特性
Ø 良好化学稳定性，耐大部分油品和溶剂
Ø 极佳的真空和机械性能
Ø 耐老化，良好的电性能
Ø 耐高温，适用温度范围：-45摄氏度-204摄氏度
四、Silicone Rubber 硅橡胶密封圈：
Silicone O-ring 重要特性
Ø 优异的耐臭氧性
Ø 良好的电绝缘性
Ø 耐高温耐寒，适用温度范围：-60摄氏度-204摄氏度
五、半导体设备用硅橡胶、氟橡胶、丁腈橡胶、全氟橡胶密封圈O-RING 用途列表如下：
PROCESS TEMPERATURE MEDIA
REQUIREMENTS MATERIAL SELECTION TYPICAL
APPLICATIONS
等离子气体沉积 Etching 0-200℃ CF4CHF3 SF6 BCL3/CCL4/O2 O2/O3/H2O 9620 (white/black) (75 harness) (70
harness) Dynamic: Gate
valve / Door seal Lip seal Static: Chamber
lid / Electrode seal Lamp seal
/ Exhaust valve Gas
inlet/outlet Window
seal / Center ring Fittings,
etc. / De-gas Chamber Carrier: Wafer LCD panel Conveyor,
etc. Ashing 0-250℃ HDPCVD/PECVD/SACVD 0-250℃ TEOS/O3 SiH4/O2 HCL/CF3/HBr NF3/CF4/C2F6 9627(white/black) (75 harness) PVD Metal CVD Copper 0-250℃ High Vacuum TEOS/O3/ SiH4/O2 HCL/CF3/HBr/ Ar NF3/CF4/C2F6 WF6/CLF3
9627 (white/black) (75 harness) (70 harness)
高温 Oxidation Diffusion 0-300℃ O2/H2O N2/HCL
9630 (white/black) (75 harness) (70 harness) Quartz Chamber seal Fittings Center ring Plenum seals LPCVD 0-300℃ NH3 SiH2CL2 HCL Lamp Annear RTP 0-300℃ Resistance to IR absorption/ Low out gassing
9629 (white/black)
9640 (white/black)
P5000 cvg oring(水路） 3700-01033 P5000 CVG oring(气路） 3700-01441 P5000 SLIT WINDOW oring 0200-09664 P5000 SLIT WINDOW UV FLITTER（薄）oring 0200-09772 P5000 slit WINDOW oring 3700-01746 P5000截止阀oring(腔体上） 3700-01472 P5000 截止阀oring（阀顶端） 3700-01495 P5000 port oring(圆）6" 3700-01332 Feedthrough O-ring 3700-01360 Clamp Ring,Window Quartz O-ring 3700-01277 Chamber Lid Assembly O-ring 3700-01359 Bellows Assembly O-ring 3700-01330 Bellows Assembly O-ring 3700-01331 Valve,Pneumactic O-ring 3700-01331 Port,Vacuum,CVD 3700-01332 View Port O-ring 3700-01333 Throttle Valve Assembly O-ring 3700-01165 VCO Type O-ring AS568A-013 Manifold,Input O-ring 3700-01329 Manifold,Ouput Plated O-ring 3700-01337 Manifold,Input O-ring 3700-01336 GAS BOX O-ring 3700-01338 3700-01333 Manifold,Input O-ring 3700-01335 Resistor,Ceramic O-ring 3700-01334 Chamber slit valve O-ring(Kalrez) 3700-01351 I/O Slit Valve Assembly O-ring 3700-01261
总之，君睿科技提供半导体设备用硅橡胶、氟橡胶、丁腈橡胶、全氟橡胶密封圈O-RING 一站式采购解决方案 ！ 欢迎您的咨询！
