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AMAT P5000 狭缝阀 - 零件编号 0190-02853
产品概述：
0190-02853 狭缝阀是专为 AMAT（应用材料）P5000 系列等离子蚀刻和沉积系统设计的高精度组件。它在维持真空完整性以及确保晶圆在负载锁和工艺腔之间无污染传输方面发挥着至关重要的作用。
规格：
| 参数 | 值 |
|---|---|
| 零件编号 | 0190-02853 |
| 兼容设备 | AMAT P5000 |
| 功能 | 腔室狭缝阀 |
| 材质 | 铝/不锈钢（因型号而异） |
| 真空 | 高真空兼容 |
| 尺寸 | OEM 标准适配 |
主要特点：
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✅ 相当于原始设备制造商 (OEM) 的质量：设计符合或超越原始设备制造商 (OEM) 的规格。
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✅ 高真空兼容性：采用真空密封性能设计，可最大限度地减少泄漏和颗粒产生。
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✅ 耐用结构：采用坚固的材料制造，可承受恶劣的等离子环境和长时间的操作周期。
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✅ 精确驱动：平稳、可重复的开启和关闭动作，确保可靠的晶圆传输。
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✅ 洁净室认证：在 ISO 级环境中制造，确保最高洁净度标准。
应用：
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用于应用材料 P5000 系列刻蚀和沉积系统。
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确保晶圆传输过程中腔室之间的密封隔离。
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有助于防止交叉污染并在真空环境中保持工艺完整性。
为什么选择此部件？
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通过在腔室之间提供可靠密封来减少停机时间
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与现有硬件兼容 - 无需修改必需
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提供快速交货和全球发货
更换说明：
为保持系统正常运行时间和工艺稳定性，建议定期进行预防性维护 (PM) 检查和更换狭缝阀，尤其是在高吞吐量环境中。
